חרוזי לטקס מפוליסטירן, כדוריות PSL

כדוריות PSL, חרוזי לטקס מפוליסטירן, תקני גודל חלקיקים

Applied Physics מספק כדורי PSL וחרוזי לטקס פוליסטירן כסטנדרטים של גודל חלקיקים לכיול מכשיר אירוסול. כלים לבדיקת ופל, כגון KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE ו-Hitachi דורשים גם כיול גודל, אשר מתבצע באמצעות שימוש בכדורי לטקס פוליסטירן. כדורי PSL, חרוזי פוליסטירן לטקס, מסופקים בגדלים מ-20 ננומטר עד 10 מיקרון כדי לכייל את עקומות התגובה לגודל של מערכות בדיקת הפרוסות המתאימות ומדדי חלקיקי לייזר. כדורי PSL מ-20 ננומטר עד כ-5 מיקרון משמשים בדרך כלל כדי לכייל את תגובת הגודל של מוני חלקיקי לייזר. ניתן להשתמש בכדורי PSL לייצור תקני PSL Wafer ותקני Wafer Particle, המשמשים לכייל תגובת הגודל של כלי KLA-Tencor Surfscan וכלי Tencor Surfscan הישנים יותר

ניתן להזמין חרוזי לטקס מפוליסטירן באמצעות ויזה או מאסטרקארד, התקשרו Applied Physics (719) 428-4042.

מערכות בדיקת ופל, המכונה מערכות בדיקת משטח סריקה, SSIS, בעיקר מ-KLA-Tencor ו-Hitachi, מכוילות באמצעות תקני PSL Wafer, שהם פרוסות סיליקון ראשיות המופקדות עם כדורי PSL בגדלים ספציפיים ופיזור גודל צר. כלי בדיקת הפרוסים משמשים לבדיקת הניקיון של משטחי פרוסות 300 מ"מ, 200 מ"מ, 150 מ"מ; סיליקון חשוף או סרט שהופקד, משטח רקיק. ה-SSIS יכול לזהות את מיקום ה-X/Y של כדורי ה-PSL והחלקיקים, לתאר את גודלו של כל פגם וכן לסכם ספירת חלקיקים כוללת על משטח הפרוסות. מערכות בדיקת פרוסות KLA-Tencor, כגון Tencor 6200, 6420 וה-KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 ו-KLA-Tencor SP3, משמשות בכל תעשיית המוליכים למחצה עבור יישום זה. ל-Topcon יש את מערכות בדיקת הוופל מסדרות 3000, 5000 ו-7000. Estek, ADE, Aeronca ו-Hitachi מספקות גם מגוון מערכות בדיקת פרוסות. כמעט כל SSIS המיוצר כיום מסוגל לזהות ב-30 ננומטר או יותר רגישות לגודל החלקיקים. כדורי PSL משמשים לייצוג הסטנדרטים של גודל החלקיקים על משטח הפרוסות. Applied Physics מציעה גדלי PSL Sphere מ-20 ננומטר עד 160 מיקרון לכיול גודל, בדיקות מסנן HEPA וכו'. ניתן להזמין כדורי PSL בטלפון Applied Physics (719) 428-4042.

כדוריות PSL משמשות עם מערכות הפחתת רקיק PSL לייצור תקני רקיק PSL, המכונים גם תקני פרוסות חלקיקים. בשני המקרים, לאחר הפקת תקן ה- PSL Wafer, הוא מונח על מערכת בדיקת רקיק וסורק על ידי SSIS לייזר יחיד או SSIS לייזר כפול. תשובת גודל PSL בפועל מושווה לתגובת גודל SSIS. אם שתי הפסגות אינן תואמות, יש לכייל את ה- SSIS.

כדוריות PSL עם ריכוז גבוה מראש מעורבבות מיועדות למערכות 2300XP1, מערכות 2300 NPT-1, מערכות הצבת רקיק 2300NPT-2 ו- M2300G3.

כדורי PSL לא מעורבים, בדרך כלל בריכוז 1%.

כדוריות ה- PSL המעורבות מראש מגיעות בבקבוק 50ml, מונו בפיזור בגודל (חלוקת גודל 1), ומסופקות בערך מ- 47nm ל- 950nm. תמיסת PSL זו מוזגת ישירות לכלי הנבוליזרי או למרסס. מעורבב מראש הוא דרך נוחה לרכוש את חרוזי לטקס קלקר, מכיוון שכל הדילול נעשה בצורה אחידה מאוד, ללא מוס, ללא מהומה, מה שמאפשר למשתמש לא להתמודד עם ערבוב חרוזי לטקס קלקר בעזרת כוסות, מים DI ומגשי קולי. חומר ה- PSL הלא מעורב מסופק בבקבוק 15ml, מונו מפוזר בגודלו (חלוקת גודל 1), ובדרך כלל בריכוז 1%. תחומי PSL אלה ניתנים במגוון רחב של גדלים, אך לענייננו, מ- 20nm ל- 4um בגודל. יש לערבב את חומר ה- PSL לדילול נכון, או שהוא יהיה מרוכז או חלש מכדי לספק תוצאות אפקטיביות כאשר מנסים להפקיד על ידי אחת ממערכות ההפקדה של PSL Wafer לעיל.

תקני גודל חלקיקים וחרוזי לטקס מיקרוספרתיים מפוליסטירן Applied Physics Inc. תקני גודל חלקיקים וחרוזים לטקס פוליסטירן מאת Applied Physics בע"מ