כיול גודל חלקיקים של חומר התייחסות סטנדרטי של NIST

סטנדרטים בגודל חלקיקים של NIST SRM הם תקני הכיול המוכרים ברחבי העולם לשימוש בכל יישום הדורש סטנדרט גודל של NIST SRM (חומר התייחסות לגודל) עם פסגות גודל מדויקות במיוחד, פסגות בגודל צר וסטיית תקן צרה. הם יכולים לשמש לכיול ותיקוף של מגוון של ציוד שינוי גודל החלקיקים, כולל מכשירי פיזור אור, מיקרוסקופים אלקטרוניים, ומנתחי ניידות דיפרנציאלית. הם קריטיים במיוחד לכיול מערכות בדיקת סריקת שטח, המשמשות לאיתור ואפיון של ליקויים בפלים סיליקון. יש צורך בחלקיקי התייחסות מדויקים כדי לפתח ולקדם את מערכות הסריקה לייצור תפוקה גבוהה וחסכונית של רקיק החשוב ביותר למזעור המכשירים. חלקיקי ההתייחסות עשויים לשמש גם לאספקת חלקיקים מונו-מפוזרים (שיא בגודל יחיד) לבדיקת מכשירי אירוסול והם מועילים לבחינת קינטיקה של תרסיס ולהערכת תגובת גלאי החלקיקים.

הערך המוסמך לקוטר המודאלי:

60 nm SRM 1964 מיקרוספירות פוליסטירן היא 60.39 ננומטר, עם אי ודאות מורחבת של ± 0.63 ננומטר;

100 nm SRM 1963A מיקרוספירות פוליסטירן היא 101.8 ננומטר, עם אי ודאות מורחבת של ± 1.1 ננומטר;

269 nm SRM 1691 מיקרוספירות פוליסטירן היא 269 ננומטר, עם אי ודאות מורחבת של ± 4 ננומטר;

895 nm SRM 1690 מיקרוספרות פוליסטירן היא 895 ננומטר, עם אי ודאות מורחבת של ± 5 ננומטר.

המדידות בוצעו באמצעות ניתוח ניוד דיפרנציאלי וניתן לעקוב אחר אורך הגל הלייזר He-Ne באוויר, 632.807 nm, שנקבע ביחס לתקן הבסיסי לאורכו.

Microspheres לטקס פוליסטירן, 20-900nm, חלקיקי לטקס פוליסטירן - קנה עכשיו

Microspheres לטקס פוליסטירן, 1um-160um, חלקיקי פוליסטירן לטקס - קנה עכשיו