Applied Physics ארה"ב
חרוזי לטקס מפוליסטירן, סטנדרטים בגודל חלקיקים
Applied Physics ארה"ב: כדורי PSL, מיקרו-כדורי פוליסטירן, תקני גודל חלקיקים
Applied Physics ארה"ב מספקת כדורי PSL וחרוזי פוליסטירן כסטנדרטים של גודל חלקיקים לכיול מכשיר אירוסול. כלים לבדיקת ופל, כגון KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE ו-Hitachi דורשים גם כיול גודל, אשר מתבצע באמצעות שימוש בכדורי לטקס פוליסטירן. כדורי PSL, מיקרוספרות פוליסטירן וחרוזים, מסופקים בגדלים מ-20 ננומטר עד 10 מיקרון כדי לכייל את עקומות התגובה לגודל של מערכות בדיקת הפרוסות המתאימות ומדדי חלקיקי לייזר. כדורי PSL מ-20 ננומטר עד כ-5 מיקרון משמשים בדרך כלל כדי לכייל את תגובת הגודל של מוני חלקיקי לייזר. ניתן להשתמש במיקרוספירות פוליסטירן לייצור תקני כיול ופל חלקיקים, המשמשים לכייל תגובת הגודל של כלי KLA-Tencor Surfscan וכלי Tencor Surfscan הישנים יותר.
Applied Physics ארה"ב
ניתן להזמין חרוזי פוליסטירן לטקס בטלפון Applied Physics (719) 428-4042.
מערכות בדיקת ופל, המכונה מערכות בדיקת משטח סריקה, SSIS, בעיקר מ-KLA-Tencor ו-Hitachi, מכוילות באמצעות PSL Wafer Standards, שהם פרוסות סיליקון ראשיות המופקדות עם כדורי PSL בגדלים ספציפיים ופיזור גודל צר. כלי בדיקת הפרוסים משמשים לבדיקת הניקיון של משטחי פרוסות 300 מ"מ, 200 מ"מ, 150 מ"מ; סיליקון חשוף או סרט שהופקד, משטח רקיק. ה-SSIS יכול לזהות את מיקום ה-X/Y של כדורי ה-PSL והחלקיקים, לתאר את גודלו של כל פגם וכן לסכם ספירת חלקיקים כוללת על פני הפרוסות. מערכות בדיקת פרוסות KLA-Tencor, כגון Tencor 6200, 6420 וה-KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 ו-KLA-Tencor SP3, משמשות בכל תעשיית המוליכים למחצה עבור יישום זה. ל-Topcon יש את מערכות בדיקת הוופל מסדרות 3000, 5000 ו-7000. Estek, ADE, Aeronca ו-Hitachi מספקות גם מגוון מערכות בדיקת פרוסות. כמעט כל SSIS המיוצר כיום מסוגל לזהות ב-30 ננומטר רגישות לגודל חלקיקים או יותר. כדורי PSL משמשים לייצוג הסטנדרטים של גודל החלקיקים על משטח הפרוסות. Applied Physics מציעה גדלי PSL Sphere מ-20 ננומטר עד 160 מיקרון לכיול גודל, בדיקות מסנן HEPA וכו'. ניתן להזמין כדורי PSL בטלפון Applied Physics (719) 428-4042.
כדורי PSL משמשים עם מערכות הפקדת רקיק PSL לייצור תקני רקיק PSL, המכונים גם תקני פרוסות חלקיקים. בשני המקרים, לאחר ייצור ה- PSL Wafer Standard, הוא מונח על מערכת בדיקת רקיק וסורק על ידי SSIS לייזר יחיד או SSIS לייזר כפול. תשובת גודל PSL בפועל מושווה לתגובת גודל SSIS. אם שתי הפסגות אינן תואמות, יש לכייל את ה- SSIS. כדוריות PSL מעורבות מראש, עם ריכוז גבוה, מיועדות למערכות 2300XP1, 2300 מערכות NPT-1, 2300NPT-2 ו- M2300G3 מערכות תצהיר.
כדוריות PSL, ריכוז של 1%.
כדוריות ה- PSL המעורבות מראש מגיעות בבקבוק 50ml, מונו בפיזור בגודל (חלוקת גודל 1), ומסופקות בערך מ- 47nm ל- 950nm. תמיסת PSL זו מוזגת ישירות לכלי הנבוליזרי או למרסס. מעורבב מראש הוא דרך נוחה לרכוש את חרוזי לטקס קלקר, מכיוון שכל הדילול נעשה בצורה אחידה מאוד, ללא מוס, ללא מהומה, מה שמאפשר למשתמש לא להתמודד עם ערבוב חרוזי לטקס קלקר בעזרת כוסות, מים DI ומגשי קולי. חומר ה- PSL הלא מעורב מסופק בבקבוק 15ml, מונו מפוזר בגודלו (חלוקת גודל 1), ובדרך כלל בריכוז 1%. תחומי PSL אלה ניתנים במגוון רחב של גדלים, אך לענייננו, מ- 20nm ל- 4um בגודל. יש לערבב את חומר ה- PSL לדילול נכון, או שהוא יהיה מרוכז או חלש מכדי לספק תוצאות אפקטיביות כאשר מנסים להפקיד על ידי אחת ממערכות ההפקדה של PSL Wafer לעיל. קישור ערפל CleanRoom