חיפוש מוצרים
קטגוריות מוצרים
PSL Spheres 47 ננומטר, נפח בקבוק 50 מ"ל חרוזי פוליסטירן לטקס

Surf-Cal, תקני גודל חלקיקים, נפח 50 מ"ל, מעורבב מראש ל-1x10E8 ו-1x10E10 ריכוז / מ"ל

תקני גודל החלקיקים של SURF-CAL™ המשמשים בכיול גודל ובניטור של מערכות בדיקת משטח סריקה (SSIS). גדלי החלקיקים להלן תואמים לגדלי החלקיקים לכיול הנדרשים על ידי יצרני המכשירים. עליך להשלים בדיקות כיול תקופתיות וניטור שבועי של גודל וספירה כדי להבטיח שסורק בדיקת הפרוסים שלך ישווה לסורקים במקומות אחרים. כל המיקרו-ספירות של פוליסטירן מושעות במים מסוננים מפושטים בנפח בקבוק של 50 מ"ל בריכוז של 3 × 10 E8 או 1 × 10 חלקיקים E10 למ"ל. הגדלים המצוינים עם * דומים לחלקיקי NIST SRM בקוטר זה. אינדקס השבירה הוא 1.59 @ 589nm (25C) עבור כל המיקרוספירות של פוליסטירן למטה. כל בקבוק יציב למשך 12 חודשים וארוז עם תעודת כיול ועקיבות ל-NIST.

על ידי הפקדת כדורי PSL (פוליסטירן לטקס) ניתנים למעקב של SURF-CAL, NIST על פרוסות סיליקון חשופות ודפוסים, אתה יכול לבצע בדיקות כיול גודל תקופתיות בכלי KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS שלך ולהשוות את סורק בדיקת הפרוסים שלך עם סורקים בכתובת מקומות אחרים. אתה יכול גם להעריך את הביצועים של ה-SSIS שלך בשלבים קריטיים בתהליך הייצור. כל המוצרים מרחפים במים מסוננים דה-יונים (מים DI) בבקבוקים של 50 מ"ל בריכוז של 3 x10 e10 חלקיקים/מ"ל או 1 x10 e10 חלקיקים/מ"ל. תקני גודל החלקיקים של Surf-Cal אלו הם מיקרו-כדוריות פוליסטירן שעברו גודל על ידי מנתח ניידות דיפרנציאלית (DMA) או טכניקות אחרות של אי-הכללה בגודל.

קטגוריה: תגיות: , , , , , , , , , , , ,

מספר חלק

ספירת ריכוז/מ"ל

קוטר החלקיקים

הפרעת גודל

 מחיר לבקבוק 50 מ"ל
APPD-047 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.047 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
APPD-047B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.047 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
APPD-064 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.064 מיקרומטר 0.003μm

$ 295.00   הוסף לסל
APPD-064B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.064 מיקרומטר 0.003μm

$ 1495.00   הוסף לסל
APPD-083 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.083 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-083B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.083 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-092 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.092 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-092B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.092 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-100* X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.100 מיקרומטר 0.003μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-100B* X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.100 מיקרומטר 0.003μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-125 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.126 מיקרומטר 0.003μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-125B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.126 מיקרומטר 0.003μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-155 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.155 מיקרומטר 0.003μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-155B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.155 מיקרומטר 0.003μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-200 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.202 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-200B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.202 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-204 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.204 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-204B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.204 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-215 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.220 מיקרומטר 0.003μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-215B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.220 מיקרומטר 0.003μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-305 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.304 מיקרומטר 0.004μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-305B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.304 מיקרומטר 0.004μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-365 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.360 מיקרומטר 0.005μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-365B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.360 מיקרומטר 0.005μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-500 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.498 מיקרומטר 0.006μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-500B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.498 מיקרומטר 0.006μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-800 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.809 מיקרומטר 0.006μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-800B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.809 מיקרומטר 0.006μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD-802 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 0.802 מיקרומטר 0.009μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD-802B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 0.802 מיקרומטר 0.009μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD1100 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 1.112 מיקרומטר 0.011μm

$ 295.00   הוסף לסל
AP PD1100B X 1 1010 חלקיקים/מ"ל 1.112 מיקרומטר 0.011μm

$ 1495.00   הוסף לסל
AP PD1600 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 1.59 מיקרומטר 0.016μm $ 295.00   הוסף לסל
AP PD2000 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 2.01 מיקרומטר 0.019μm $ 295.00   הוסף לסל
AP PD3000 X 3 108 חלקיקים/מ"ל 3.04 מיקרומטר 0.026μm $ 295.00   הוסף לסל

מתודולוגיית מדידה:

כדי להבטיח עקיבות של NIST, הקטרים ​​המאושרים של מוצרים אלה הועברו באמצעות מיקרוסקופיה אלקטרונית או אופטית מחומרי ייחוס סטנדרטיים של NIST (2). אי הוודאות חושבה באמצעות NIST Technical Note 1297, מהדורת 1994 "הנחיות להערכת וביטוי אי הוודאות של תוצאות מדידת NIST" (4). אי הוודאות הרשומה היא אי הוודאות המורחבת עם מקדם כיסוי של שניים (K=2). קוטר השיא חושב תוך שימוש בטווח של ± 2 שניות בערך של התפלגות גודל החלקיקים. התפלגות הגודל חושבה כסטיית התקן (SDS) של כל השיא. מקדם השינוי (CV) הוא סטיית תקן אחת המבוטאת כאחוז מקוטר השיא. התפלגות FWHM (רוחב מלא בחצי מקסימום) חושבה כהתפלגות במחצית מגובה השיא מבוטא כאחוז מקוטר השיא.

1. "מפת הדרכים הלאומית לטכנולוגיה עבור מוליכים למחצה", איגוד תעשיית המוליכים למחצה (1999)

2. SD Duke ו-EB Layendecker, "שיטה סטנדרטית פנימית לכיול גודל של חלקיקים כדוריים תת-מיקרוניים באמצעות מיקרוסקופיה של אלקטרונים", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - מדריך לפירוט מערכות פיקוח על פני השטח עבור פרוסות הסיליקון דור הטכנולוגיה 130 nm.

4. בארי נ. טיילור וכריס אי. קויאט, "הנחיות להערכת וביטוי אי הוודאות של תוצאות מדידת NIST". הערה טכנית של NIST 1297, מהדורת 1994, ספטמבר 1994.

מוצרים קשורים

לתרגם "