כדוריות Surf-Cal, PSL, מעורבבות מראש לכיול בגודל חלקיקי של מערכת בדיקת רקיק
כדורי PSL, לטקס קלקר, סטנדרטים בגודל החלקיקים בגלישה
תחומי PSL של SURF-CAL מפשטים את העבודה של הכנת וופל כיול במתקן שלך על ידי אספקת כדוריות PSL מעורבבות מראש בבקבוק 50ml. גדלי החלקיקים תואמים את גדלי נקודת הכיול הנדרשים על ידי יצרני המכשירים. ריכוזי החלקיקים הם 1 x 10 e10 חלקיקים לכל מ"ל. יצרני SEMI דרשו להשתמש בגדלי חלקיקים ספציפיים בעת כיול מערכות פיקוח על פני השטח של סריקה, המכונה גם כלי בדיקת רקיק. בעבודה עם יצרני מכשירים, תחומי ה- PSL של SURF-CAL עומדים בהנחיות ה- SXI M52 (3) ו- M53. הגדלים הזמינים הם צמתי גודל קריטיים כמוגדרים על ידי מפת הדרכים הבינלאומית הטכנולוגית למוליכים למחצה, ITRS (1).
על ידי הפקדת כדורי PSL (לטקס קלקר קלפי) של SURF-CAL על גבי סיליקון חשוף ופלים דפוסיים, תוכלו לבצע בדיקות כיול בגודל תקופתי על כלי ה- KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS ולהשוות את סורק הבדיקה רקיק עם סורקים. מיקומים אחרים. אתה יכול גם להעריך את ביצועי ה- SSIS שלך בשלבים קריטיים בתהליך הייצור.
כל המוצרים תלויים במים מסוננים (מי דיון) בבקבוקי 50 מ"ל בריכוז של חלקיקים 3 x1010 למ"ל. תחומי PSL אלה עוצבו על ידי Analyzer Differential Mobility (DMA) או טכניקות הרחקה בגודל אחר.
מתודולוגיית מדידה:
כדי להבטיח עקיבות של NIST, הקוטרים המוסמכים של מוצרים אלה הועברו באמצעות אלקטרונים הילוכים או מיקרוסקופ אופטי מחומרי עזר סטנדרטיים של NIST (2). חוסר הוודאות חושב באמצעות הערה טכנית של NIST 1297, מהדורת 1994, "הנחיות להערכת וביטוי אי הוודאות של תוצאות מדידת NIST" (4). חוסר הוודאות המופיע הוא אי הוודאות המורחבת עם מקדם כיסוי של שניים (K = 2). קוטר השיא חושב באמצעות טווח ± 2s של התפלגות גודל החלקיקים. התפלגות הגודל חושבה כסטיית התקן (SDS) של כל השיא. מקדם הווריאציה (CV) הוא סטיית תקן אחת המתבטאת באחוזים מקוטר השיא. התפלגות FWHM (רוחב מלא בחצי מקסימום) חושבה כהתפלגות במחצית גובה השיא מבוטאת כאחוז מקוטר השיא.
1. "מפת הדרכים הטכנולוגית הלאומית למוליכים למחצה", התאחדות התעשייה המוליכים למחצה (1999)
2. SD Duke ו- EB Layendecker, "שיטה סטנדרטית פנימית לכיול גודל של חלקיקים כדוריים תת-מיקרוניים על ידי מיקרוסקופ אלקטרונים", החברה לחלקיקים עדינים (1988)
3. SEMI M52 - מדריך לפירוט מערכות פיקוח על פני השטח עבור פרוסות הסיליקון דור הטכנולוגיה 130 nm.
4. בארי נ 'טיילור וכריס א' קויאט, "הנחיות להערכת וביטוי אי הוודאות של תוצאות מדידת NIST". תו טכני NIST 1297, מהדורת 1994, ספטמבר 1994.
הרכב החלקיקים | לטקס קלקר, כדוריות PSL, תקני גודל חלקיקים |
ריכוז | 1 x 10e1010 חלקיקים לכל מ"ל |
צפיפות החלקיקים | 1.05 גר '/ ס"מ |
מקדם השבירה | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
מילוי נפח | 50 מ"ל |
תוֹכֶן | מיקרוספרות קלקר במים מסוננים ומיוננים |
תאריך תפוגה | ≤ 12 חודשים |
כדוריות PSL, סטנדרטים בגודל חלקיקי SURF-CAL | ||||
חלק מוצר | קוטר שיא מוסמך | סטיית תקן | קורות חיים ו- FWHM | חלקיקים למיליון בבקבוק נפח 50 מ"ל |
AP-PD-047B | 47 ננומטר | 4 ננומטר | 7.5%, 17.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-064B | 64 ננומטר | 3 ננומטר | 5.4%, 10.9% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-083B | 83 ננומטר | 4 ננומטר | 4.2%. 9.6% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-092B | 92 ננומטר | 4 ננומטר | 4.6%, 9.1% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-100B | 100 ננומטר | 3 ננומטר | 2.6%, 5.2% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-125B | 126 ננומטר | 3 ננומטר | 2.4%, 4.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-155B | 155 ננומטר | 3 ננומטר | 1.6%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-200B | 202 ננומטר | 4 ננומטר | 1.8%, 4.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-204B | 204 ננומטר | 4 ננומטר | 1.8%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP PD-215B | 220 ננומטר | 3 ננומטר | 1.6%, 3.3% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-305B | 304 ננומטר | 4 ננומטר | 1.4%, 3.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-365B | 360 ננומטר | 10 ננומטר | 1.3%, 2.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-500B | 498 ננומטר | 6 ננומטר | 2.0%, 5.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-800B | 809 ננומטר | 6 ננומטר | 0.8%, 1.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-802B | 802 ננומטר | 9 ננומטר | 1.1%, 2.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1100B | 1.112 מיקרומטר | 11 ננומטר | 1.0%, 2.5% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1600 | 1.59 מיקרומטר | 16 ננומטר | 1.0%, 2.6% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-2000 | 2.01 מיקרומטר | 19 ננומטר | 1.0%, 3.3% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-3000 | 3.04 מיקרומטר | 26 ננומטר | 0.9%, 2.7% | 3 x 10 e8 |