מערכות להפקדת חלקיקים, מערכות להפקדת PSL

מודל 2300 XP1
- בקש ציטוט

מודל 2300 XP1 תומך בסדרות KLA-Tencor 6200, סדרות 6400, SP1-TBI, מערכות מבחן TopCon, Hitachi ו- ADE Wafer Wafer.

  • רגיל 80nm ל- 1um PSL ותחתית רקיק החלקיקים, עומס ידני ל- 150mm, 200mm, 300mm;
  • רגישות נמוכה 50nm, אחריות לשנה 2, תוכניות תחזוקה מונעת

חדש ... דגם 2300 NPT-1 - בקש ציטוט

מודל 2300 NPT-1 תומך בכל יישומי המטרולוגיה 200 מ"מ ו -300 מ"מ בכיול עקומות התגובה בגודל של כלים כגון סדרת Tencor 6200, סדרת Tencor 6400, KLA-Tencor SP1 ו- SP2, כל מערכות בדיקת רקיק ה- KLA-Tencor, TopCon, Hitachi , מערכות בדיקת סריקת שטח של AMAT (SSIS). מערכות הטכנולוגיה של חלקיקי ננו מספקות גדלי כיול אמיתיים בחינם של שאיבה, על תחום PSL ותמציות חלקיקי תהליכים. שלח דוא"ל לג'ון טרנר לקבלת פרטים נוספים על מערכות ה- NPT-1, "True Size Calibration ™.

  • רגיל 20nm ל- 1um PSL ותחתית רקיק החלקיקים
  • טעינה רקיק ידנית סטנדרטית על סיכות מגע עם רקיק PEEK
  • אחריות לשנה 2 לשנה, תוכניות תחזוקה מונעת

דגם 2300 NPT-2 - בקש ציטוט

מודל 2300 NPT-1 תומך בכל יישומי המטרולוגיה של 200 מ"מ ו -300 מ"מ בכיול עקומות התגובה בגודל של כלים כמו KLA-Tencor SP1, SP2, וכל מערכות הפיקוח האחרות של KLA-Tencor, TopCon 300, 400, 5000, 6000, 7000 , Hitachi, AMAT מערכות פיקוח ופלים. מערכת זו מספקת גדלי כיול אמיתיים ללא שאריות שאיבה על תחום PSL ותמציות חלקיקים מעובדים. שלח דוא"ל לג'ון טרנר לקבלת פרטים נוספים על NPT-2, "TRUE SIZE CALIBRATION ™ מערכות. שיפורי תוכנה משמעותיים החליפו את היכולות הקודמות של 2300XP1.

ה- NPT-2 משלב מערכת טיפול ברכבים אוטומטיים מבוססת FOUP, עם שלב כפול, וניתן להגדיר אותה להפעלה של 300 מ"מ בשני השלבים או ביישומי גשר של 200 מ"מ בשלב אחד ופעולות 300 מ"מ בשלב השני. קשר וופל מנוהל על ידי אחיזת קצה עם מערכת האוטומציה. ניתן להפקיד עד 2 הפקדות במקום, הפקדות מלאות או הפקדות טבעת מעשרה בקבוקי מקור בגודל שונה. ה- NPT-50 יכול להתמודד עם שתי תחומי ה- PSL כמו גם עם מגוון חלקיקי תהליכים כמו סיליקון ניטריד, תחמוצת סיליקון, נחושת, תחמוצת טיטניום, טונגסטן, טנטלום; דיאלטריקה, מתכות וספירות PSL.

ה- NPT-2 אינו מחייב את המפעיל לערבב פתרונות, שכן ה- NPT-2 מפקח על הריכוז, מערבב פתרונות תוך כדי תנועה, וכאשר נדרשים פתרונות חדשים, 10 המקורות כולם Plug and Play. ה- NPT-2 מיועד לתמוך בשני כיול התגובה של מטרולוגיה, כמו גם לייצר כמויות של תקני רקיק חלקיקים כדי לאתגר את יעילות הניקיון של תחנות ה- WET Clean שלך, ולשפר את יעילות הניקוי של ספסל ה- WET שלך בתמיכה בתהליכים עם חלקיק פסול תשואות. ה- NPT-2 מסוגל לספק החזר ROI חזק, ובכך לשלם עבור עצמו בפרק זמן קצר. שיפורי תוכנה משמעותיים החליפו את היכולות הקודמות של 2300XP2.

  • 20nm ל- 1um PSL ותמצית רקיק החלקיקים
  • אחריות לשנה 2 לשנה, תוכניות תחזוקה מונעת

מערכת הדבקת חלקיקי פרוסותפרטים - בקש ציטוט

מערכות בעלות ביצועים גבוהים, בתצהיר החלקיקים, כוללות את הטומזום החלקיקים המתקדם ביותר, סיווג אלקטרוסטטי וטכנולוגיה בתצהיר ליצירת PSL מדויק ביותר (סטנדרטים בגודל לטקסטור קלקר לכיול KLA-Tencor, חומרים יישומיים, TopCon, Hitachi ומערכות בדיקת רקיק ADE.

הם יכולים גם להפקיד חלקיקי תהליכים מונו-מפוזרים על ופלים כדי ליצור תקני חלקיקי ספסל WET כדי לאתגר את יעילות הניקוי של ספסלי WET Clean.

ניתן להשיג שיפורים ביעילות ניקוי של 3.0% ל- 10% עבור מערכות ניקוי בעזרת כלים אלה המתקדמים לתצהיר החלקיקים ויוצרים החזר ROI מעולה. ניתן להפקיד חלקיקי תהליכים בגודל אחיד של SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu וכו 'על גבי רקיקות כדי לספק חלקיקים על הידבקות רקיק, כך שניתן יהיה להעריך מציאותי כלי ניקוי רקיקים.

גם מערכות 2300 XP1 וגם 2300 NPT-1 כוללות בקרת מתכונים ותצהיר אוטומטי רב-ספוט ורב-גודל.

טעינת ופריקת רקיק מטופלת על ידי טעינת רקיק ידנית.

ה- 2300 NPT-2 כולל פעולה אוטומטית מלאה לתמיכה בדרישות גשר 200mm ודרישות FOUP של 300mm. ה- NPT-2 מיועד לתמוך בשתי כיול התגובה של מטרולוגיה של מערכות בדיקת רקיק; כמו גם יישומי Wet Bench עם פעולת כיבוי אוטומטית לחלוטין.

תכונות ויישומים NPT-1 ו- NPT-2 - בקש ציטוט

    • שינוי גודל DMA וסיווג ברזולוציה גבוהה, NIST (המכון הלאומי לתקנים וטכנולוגיה), עולה על הפרוטוקולים החדשים של SEMI M52 ו- M53 עבור דיוק גודל PSL ורוחב חלוקת גודל.
    • MSP היא חברת 1st המספקת את ה- 65nm NIST SRM החדש, כמו גם את המסורתיים. 1007nm, 269nm ו- 895nm NISM SRM המשמשים לכיול גודל
    • NPT, כיול חלקיקי ננו מסיר את חלקיקי אובך הרקע, הגורמים לשינוי בגודל משמעותי הוא מצבורי PSL מבוססי DMA. MSP היא החברה היחידה המספקת יכולת חדשה זו, TRUE SIZE CALIBRATION ™ לבסיס הלקוחות שלה
    • טכנולוגיית DMA (Advanced Differential Mobility Analyzer) מתקדמת הכוללת פיצוי טמפרטורה ולחץ אוטומטי לשיפור יציבות המערכת ודיוק המדידה.
    • לוח השנה של לוח השנה מתריע על צג שטוח (FPD) כדי להזכיר למפעיל כי יש צורך בתחזוקה.
    • תוכנה נשלטת על מתכונים ידידותית למשתמש
    • תהליך ההפקדה האוטומטי מספק הצבה מרובת נקודות על גבי רקיק אחד, ואחריו ניקוי עצמי וטיהור.
    • מיקום זרבובית אוטומטי וסיבוב פרוסות מאפשרים ליצור מגוון של צורות תצהיר: ריבוי ספוטים, בצורת טבעת, תנוחת פרוסות מלאה וצורות מותאמות אישית אחרות.
    • טיפול בפלים אוטומטיים מספק טיפול מהיר למחשב ודיבורית למחשבי 200 מ"מ ו- 300 מ"מ.
    • סימן CE, SEMI S2, S8, S14 תואם, SEMI M52 ו- SEMI M53 תקנים
    • הפקדות פרוסות מלאות, הפקדות טבעות וטבעות טבעיות בכל מקום באתר.
    • עשר מקורות ננו טכנולוגיית חלקיקים (NPT) להפקדה יעילה ומהירה של עד 50 גדלי PSL שונים או גדלי חלקיקים בתהליך
    • רגישות גבוהה המאפשרת תחום חלקיקי PSL ותהליך חלקיקים מ- 20nm ל- 1um, או לחלופין
    • הפקידו חלקיקי תהליכים על גבי רקיקות כדי לספק הידבקות מציאותית בין החלקיקים למשטח הוופל לפיתוח תהליכי ניקוי ושיפור מערכת הניקוי כדי להגדיל את היעילות ואת התוצאה.
    • הפקדת כדורי PSL על גבי רקיקות ליצירת תקני כיול עבור מערכות פיקוח רקיקות KLA-Tencor, יישומים, TopCon, Hitachi ו- ADE.
    • הפקד כדורי PSL וחלקיקי תהליכים על רקיק חשוף, שכבתי-סרט ומדוגמת כדי לחקור את השפעת פני השטח רקיקים, ומדד שבירת החלקיקים על התגובה האופטית של מערכות בדיקת רקיק.
לתרגם "